二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9275709 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一種晶圓測試和計量設備，提供了一套綜合的工具，用於測量平均和局部厚度、表面地形、表面粗糙度、缺陷密度等參數。KLA RS 55 TCA專為精確和可重復性而設計,可提供卓越的性能而不會影響精度。TENCOR RS-55/TCA使用復雜的光學計量技術組合來測量晶圓表面。這些技術包括散射測量、橢圓偏振、光致發光、偏振和二次電子顯微鏡。該系統還利用先進的運動控制系統和專有算法在最小的時間內精確地提供最高精度的結果。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 TCA應用軟件提供了一套全面的分析工具,旨在自動檢測晶圓表面的缺陷。這些工具用於檢測和表征過程變化所造成的微妙影響，以及對缺陷進行分類，以確定可能出現麻煩的元素和濃度。該單元還提供了詳細的模模報告，使用戶能夠快速隔離錯誤並減少浪費。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCA中使用的先進運動控制機是為晶圓掃描的準確性和可重復性而設計的。此工具允許以高達150 mm/s的速度對晶片進行亞微米掃描。軟件提供檢測和測量可能影響設備晶片質量和性能的缺陷的能力，以及輕松檢測過程條件變化的能力。KLA RS-55TCA是為滿足要求最苛刻的晶圓表面計量要求而設計的，並且針對健壯、可靠和可重復的晶圓測試進行了優化。它在測量厚度、表面地形和表面粗糙度方面提供了無與倫比的精度。資產還可以檢測到各種各樣的晶圓缺陷，並能夠實現自動化的後期處理，以保證分析的準確性和精確度。此外,該模型能夠測量每個晶片多達三萬個晶片,並且可以掃描每小時多達25個晶片,從而確保快速周轉時間和提高生產率。RS-55 TCA是半導體質量控制和晶圓工藝優化的理想解決方案。