二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在為高級晶圓和芯片設計的表征提供全面的計量解決方案。它是一個集成系統，具有幾個特點，為各種高度的晶圓設計提供完整的分析和性能評估。KLA RS 55 TCA采用先進的激光技術進行缺陷檢測。該單元使用的激光技術是用於明場、暗場、顏色計量的緊湊雙模（CDM）成像機，以及用於檢測較小缺陷的可選CDM在線叠加測量。此外，一些自動化的非激光光學設計工具，如光學亮場和暗場，計量和叠加可以包括在工具。雙視圖光學資產可以在多個晶圓站點同時進行缺陷檢查和叠加計量測量。該型號在X-Y軸上的最大視野高達500 mm，最大工作距離為4-5mm。它能夠區分和測量小至0.25 μ m的缺陷與基板表面。該設備的其他特點包括高速線掃描模式和具有專用信號處理算法的寬Mura測量範圍。該系統采用高速圖像分析框架,通過減少計算機負載實現更快的圖像處理時間。它由一個獨特設計的集成晶圓輸入/輸出自動化單元支持,該單元有助於提高吞吐量。除了硬件功能外,TENCOR RS-55/TCA還配備了高級軟件包,可提供分析和監控功能以及用戶友好界面。軟件可以提供有關流程周期的全面報告,包括缺陷圖、趨勢圖和缺陷管理/統計流程控制（SPC）。軟件驅動的機器能夠有效地收集數據,以幫助識別、確定優先級並減少質量和產量損失。PROMETRIX RS-55 TCA是一個全面且經濟高效的解決方案,用於對高級晶圓和芯片進行全面測試和計量。它提供可靠的性能,並為完整的評估周期提供端到端分析。