二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一種設計用於半導體制造的快速、精密的晶圓測試和計量設備。它將高分辨率、自動化成像與半自動測量相結合，允許對半導體晶片進行詳細的分析和評估，具有出色的可重復性和準確性。KLA RS 55 TCA配備了架空遠心光學系統，可容納尺寸可達8英寸的晶片。該單元可對測試晶片進行高精度成像,包括微觀和宏觀特征,以及具有掃描電子顯微鏡（SEM）功能的3D深度剖析。這臺集成成像機提供小至0.5微米的圖像分辨率偏差。高分辨率成像工具允許用戶檢測納米級缺陷、薄膜厚度和臨界參數測量。TENCOR RS-55/TCA的計量能力啟用了叠加、聚焦和可重復性、光譜比較、缺陷檢測、模式匹配和蝕刻深度等自動化測量。此外,KLA RS-55 TCA還配備了高級軟件,用於自動分析和報告檢查結果。該軟件能夠控制資產儀表、測量參數和生成各種格式的報告。例如，軟件配備了統計過程控制（SPC）和問題解決工具，以及可定制的掩碼限制數據庫。最後,TENCOR RS-55 TCA采用氣候控制操作,使其能夠保持無懈可擊的溫度和低波動,以確保結果的最高精度和可重復性,即使同時運行幾個晶片也是如此。PROMETRIX RS 55 TCA是一個功能強大、可靠的晶圓測試和計量模型，提供精密成像和測量能力，具有一流的準確性和可重復性。它是需要高分辨率成像和快速周轉時間的半導體制造和測試應用的理想解決方案。