二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一種高精度晶圓測試和計量系統,專為半導體生產環境中的高級過程控制而設計。它將高級自動化缺陷檢測和分類功能與完整的3D地形映射和電阻率分析相結合。KLA RS 55 TCA的自動化成像光學器件以高分辨率提供了廣闊的視野,以確保卓越的檢測和分類能力。該系統具有專利、創新的自動對焦能力，對圖像進行連續評估，並對成像鏡頭進行校正，以確保最大清晰度和圖像保真度。它還結合了用於高精度地形圖的動態制圖技術。TENCOR RS-55/TCA能夠以無與倫比的精度和可靠性檢測納米級缺陷。其專利缺陷分類系統利用概率技術，對復雜缺陷進行了可靠的快速檢測和分類。這樣可確保僅報告重大缺陷。它還能夠進行先進的缺陷分析，包括3D光學剖面圖和電氣測量，從而能夠測量蝕刻深度和電阻率等特性。KLA RS-55TCA通過其復雜的軟件體系結構提供了可追蹤性和可重復性。它的多種配方以及全自動成像和計量過程使操作員能夠快速設置和測試一系列設備。這導致吞吐量增加、缺陷率降低和制造業產量提高。RS-55TCA具有模塊化設計,是開放式體系結構,可輕松集成到其他生產過程和機器人系統中。其堅固、模塊化的結構和卓越的機械結構質量保證了在惡劣的工業環境中的性能。結合KLA世界一流的應用特定軟件,RS-55 TCA為晶圓測試和計量提供了總體解決方案。