二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是一種先進的晶圓測試和計量設備，提供晶圓上集成電路和薄膜結構的集成計量和缺陷審查。KLA RS 55 TCA是經過KLA驗證的計量和缺陷審查能力與獲得專利的TENCOR晶片測試過程相結合的結果。將這兩個過程集成到TENCOR RS-55/TCA中，可以確保高質量的計量和快速、可靠的缺陷識別。該系統配備了具有激光自動對焦單元的高精度光學顯微鏡、自動化圖像處理子系統和可識別表面和地下缺陷的掃描電子顯微鏡（SEM）。機器還提供實時缺陷檢查和審核功能。光學器件可以對0.1微米的特征結構進行成像。RS-55TCA包括模具或測試芯片識別、自動聚焦參數調整、最低對比度和閾值控制、實時缺陷大小和缺陷區域測量、缺陷大小分布分析、直方圖分析、不同類型缺陷的模式識別、自動生成報告等多種成像功能。它還提供自動化和交互式晶片審閱模式，允許用戶快速查看和分析晶片或子晶片級別上的缺陷。該工具設計用於清潔環境，但也能夠在一定溫度、濕度和壓力範圍內操作。此自適應功能使資產成為各種行業應用的理想選擇。KLA RS-55TCA模型的主要優點是,它能夠通過將PROMETRIX著名的計量和缺陷審查功能與高精度光學和SEM成像技術相結合,快速識別和分析晶片上的缺陷。因此,用戶可以期待更快、更準確的過程控制和提高產量。此外,設備還可以縮短上市時間,提高客戶滿意度。