二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312925 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA是專門為滿足半導體行業復雜需求而設計的晶圓測試和計量設備。該系統利用了光學和激光器方面的最新進展，實現了晶圓表面的高速、非接觸式掃描。精確測量摻雜劑深度、缺陷尺寸、電阻率、蝕刻深度、劃痕深度和SEM參數等器件參數。該裝置能夠比最近的傳統掃描機器快500倍地檢查晶片。它的靈活性允許高吞吐量和可重復的測量，無論晶圓大小。它還帶有集成的表面分析、過程監控、缺陷檢測和計量軟件。KLA RS 55 TCA利用廣闊的視野來獲得最高的測量精度。它包含了先進的近場成像能力，提供洞察晶圓上的子測距結構。此外,它還具有遠景光源和成像光源,用於晶圓檢測.視覺工具的像素分辨率為30 μ m，可以快速可靠地分析臨界晶片特性。TENCOR RS-55/TCA是一種全自動資產。它采用了完全集成的機器人和視覺模型，允許不間斷和準直掃描晶圓。該設備允許同時進行數百次晶圓測量，並且能夠在一小時內測量多達1000個晶圓。該系統可以評估清潔度、表面光潔度和汙染程度。此外,視覺功率可調節,以適應各種晶圓尺寸,包括最小的芯片。PROMETRIX RS-55/TCA內置軟件和數據分析工具,具有完全符合標準的協議。其軟件提供自動特征識別、故障隔離和統計數據趨勢。此外，這一單位提供了自動化和高精度操作所必需的情報。TENCOR RS-55TCA設計用於三維光學表面的檢查、測量和數據記錄。它有助於全面了解晶片及其關鍵參數，以進行產量優化的最佳調整。總而言之,PROMETRIX RS 55 TCA是當今快速變化的半導體行業理想的晶圓測試和計量機器。