二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #293761701 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC是為半導體制造商設計的高端晶圓測試和計量設備。它使用戶能夠精確測量臨界半導體參數,如厚度、組成和物理尺寸。KLA RS75/TC的高分辨率光學顯微鏡（30納米）、光學圖像分析工具和最先進的算法可提供卓越的掃描能力。該系統使用先進的自動晶片定位器，快速準確地掃描各種晶片格式，而用戶的參與程度卻很低。它還具有快速的數字圖像關聯（DIC）功能,可在掃描初始晶片後精確測量晶片特征的幾分之一秒。TENCOR RS-75TC還配備了自動化的舞臺升降機單元和TraxWriter分析,這是一個強大的分析包,專為可追蹤性、可重復性和靈活性而設計。TraxWriter允許用戶創建多達9個掃描定義,這些定義可用於標識諸如坑顯示、粒子計數和基準標記等特征。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75/TC還能夠測量許多其他參數,例如薄膜厚度、地形、接觸電阻和光學質量。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75/TC還具有多種可選工具,可以添加這些工具來增強測量功能。這些包括熱卡盤適配器，允許晶片定位器在被測試時容納加熱的晶片，以及減少磨損和延長探針壽命的探針清潔器。激光上漿模塊可用於更精確、更精確地測量薄膜厚度，而泄漏定位器可幫助操作員檢查和識別晶圓表面的泄漏。總體而言，KLA RS 75/TC是一種用於晶圓測試和計量的綜合機器。它為用戶提供高分辨率光學、高級算法、自動升降機以及一系列可選組件,以實現對關鍵半導體參數的更好、更快的測試。通過提供卓越的掃描功能和精確測量,此工具非常適合那些希望改進制造工藝和提高吞吐量的半導體制造商。