二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TCA #9135668 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TCA是一種高度先進的晶圓測試和計量設備,旨在提供各種晶圓參數的可靠和快速的數據檢索。它在工業生產環境中用於測試、測量和分析過程控制和工程中使用的晶圓特性。KLA RS75TCA利用頂級光學和相機技術提供有關晶圓特征和缺陷的無與倫比的信息。這包括諸如厚度、覆蓋公差、線條和空間寬度以及臨界尺寸高度等特征。此外,系統還可以識別和測量缺陷寬度、高度和面積。TENCOR RS-75TCA使用三軸掃描級，能夠以極高的精度運動，以確保準確的數據捕獲和測量。舞臺由最先進的運動控制驅動，可提供高達10納米的運動分辨率。該單元還采用了一個專利和創新的動態自動對焦，可以快速和精確地創建有圖案的結構的焦點圖像。這臺機器的電容式幹涉顯微鏡提供了卓越的光學和測量分辨率，使用戶能夠識別尺寸不超過1微米的小特征。幹涉顯微鏡允許微量晶圓檢查和先進的CD-SEM和AFM成像。除了精確RS-75測量功能外,TCA還包括多種功能強大的功能,可實現快速測試和數據分析。這些包括實時晶圓映射、自動缺陷檢查以及復雜的數據趨勢、可視化和分析。這使工具能夠快速識別可用於提高吞吐量和產量的流程偏差。TENCOR RS-75/TCA是一種極其可靠和具有成本效益的生產工具,可用於多種行業。其無與倫比的準確性使操作員能夠快速測試、測量和分析晶圓特性和缺陷，從而實現受控過程優化。