二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #156087 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
已售出
ID: 156087
晶圓大小: 8"
Resistivity measurement system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是先進的晶圓測試和計量設備,用於高級過程控制和故障分析。該系統對晶片的狀態和性能提供了無與倫比的洞察力,其先進的功能在過程控制和質量保證方面提供了顯著的優勢。KLA RS75單元基於符合人體工程學的龍門設計,可實現高度精確和可重復的測量,並具有廣泛的晶圓直徑和厚度選項。該機器的先進晶片處理能力提供了精確、可重復的對準多個傳感器,包括激光掃描儀和其他能夠實時測量表面和地下特性的傳感器。它具有高速掃描/測量模式,具有可調視場,可提供廣泛的缺陷相關信息。TENCOR RS 75還具有一系列計量功能,包括臨界尺寸測量、表面掃描和缺陷審查。其專有的缺陷檢測算法提供了無與倫比的缺陷解決和分析。RS75工具配備了一套功能,可提供最大的靈活性和對過程參數的控制。它具有多個I/O通道,以及一系列高級自動化功能,包括自動流程設置、數據存儲和分析、可調掃描參數、數據繪圖和統計分析。PROMETRIX RS-75資產還提供了廣泛的缺陷分類選項,從基本的拒絕/接受決策到更復雜的分類器,如缺陷測量類別和故障樹分析。它還包括一個強大的模式識別引擎,允許以最高分辨率對晶片進行高級檢查和故障分析。總體而言,PROMETRIX RS 75晶圓測試和計量模型提供了對晶圓條件和性能的無與倫比的洞察。其先進的自動化能力和缺陷檢測算法使其成為過程控制和質量保證的理想選擇,而其廣泛的缺陷分類選項提供了無與倫比的靈活性和控制。KLA RS-75設備是用於要求最苛刻的過程控制和故障分析應用的最先進的工具。
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