二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293628452 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75
ID: 293628452
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種晶圓測試和計量設備,可提供對半導體基板的電氣和機械性能的高度精確的測量。該系統專門配置用於測量半導體工業中使用的多種材料的性質,如絕緣體、金屬和其他重叠層。該儀器的卓越性能和易於使用的接口提供了多用途的數據采集和分析功能。KLA RS75具有高度穩定的自動化多級掃描功能,可準確跟蹤表面殘余應力和應力相關參數。這次多級掃描在地形、表面粗糙度、厚度等三個維度上快速測量晶片的表面尺寸特征。該單元還包括一個集成的自我校準程序,以確保常規的自我校準精度。TENCOR RS 75具有穩定的基於壓電的驅動器和廣泛的測量範圍,可提供精確且可重現的結果。TENCOR RS-75采用模塊化體系結構進行設計,以實現高效的測試站運行。各種樣品支架和夾具以及可定制的掃描參數可用於晶圓測試。還提供了多個示例掃描選項,例如X-Y掃描、線掃描和循環掃描。此外,多個視頻輸入選項允許在測試期間對樣品進行實時成像。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75配備了直觀的圖形用戶界面,允許用戶自定義參數、監控測試過程以及查看測試結果。易用性特性使其成為半導體技術專家的熱門選擇。為了便於數據采集和分析,該機器包括一系列數據分析工具,如應力/應變分析和壽命應力分析。PROMETRIX RS-75具有多種功能,是測量和分析半導體基板的電氣、機械和尺寸特性的重要工具。這種晶圓測試和計量工具具有優異的性能,具有可靠的數據準確性和可重復性,是任何半導體相關應用的理想選擇。
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