二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293677302 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種領先的晶片測試和計量設備,旨在對半導體晶片的產量臨界和設計臨界尺寸進行準確可靠的測量。KLA RS75具有先進的自動光學檢查系統和5向光學晶片頭,使其能夠在單個晶片測試周期內執行各種計量操作。該單元包括一個高分辨率、高精度的直線級，可在2 μ m的精度範圍內進行測量，以及一個大真空卡盤，以確保晶片的牢固和穩定。此功能有助於在單個模具上同時測量三個或更多測試/計量點,從而節省時間並確保高效的過程吞吐量。TENCOR RS 75還設有一個專門的高性能離軸照明機，被稱為Defeo-Illuminator，以接近法線角度投射光線到晶圓表面。這有助於改善檢查過程中的圖像對比度和分辨率,從而能夠可靠地識別缺陷類型和位置。此外，Defeo-Illuminator還得到各種相機技術的支持，使該工具能夠獲得高質量的圖像，用於反射和非反射測試和計量應用。TENCOR RS-75基於開放式體系結構軟件,可輕松與第三方軟件解決方案集成以進行數據分析和可視化。此外,該資產還附帶了一套高級軟件工具,使用戶能夠快速準確地校準、驗證和分析測量結果。這使模型能夠提供可重復的測量,從而確保在生產環境中使用時的最高一致性和準確性。最後,PROMETRIX RS 75設備附帶了一整套資源和支持包。這可幫助客戶充分利用系統,最大限度地減少停機時間,並最大限度地提高產量。KLA始終願意回答查詢並提供技術幫助，讓客戶充分利用他們的KLA RS 75單元。