二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圓測試和計量設備是一種用於檢查和分析半導體設備設備參數的高性能、全自動工具。它提供了廣泛的高級功能來幫助表征、驗證和質量控制過程。KLA RS75提供了一個多合一的解決方案,其特點是具有檢查、反射檢查和IV曲線的高分辨率成像站、先進的計量系統和強大的數據分析工具。該成像站利用數字圖像關聯（DIC）技術實現真正的3D高分辨率成像,可用於高分辨率缺陷和臨界尺寸（CD）檢查。TENCOR RS 75上的反射檢查單元是為了偵測粒子、線緣粗糙度等會影響裝置性能的非均勻因子等光學幹擾而設計。機器還提供高級統計（SPC）和現場缺陷分析，以檢測可能指示更大問題的異常模式。除了成像和反射功能外，RS-75還配備了一個功能強大的計量工具，用於精確測量設備參數。這包括前沿邊緣放置精度（EPA）和過程控制能力（PC-C）以及用於體積測量和過程控制的高速多芯片計量資產。計量模型還包括各種薄膜厚度測量特征和一系列晶圓類型和技術的數據分析能力。最後，該設備配備了一個全面的數據分析套件，該套件具有分析成像和計量數據的先進工具。這套工具將強大的可視化功能與全面的統計數據和特征分析相結合,使用戶能夠快速識別本地和全球流程趨勢。PROMETRIX RS 75晶圓測試和計量系統具有強大的集成功能,是現代半導體表征、驗證和質量控制過程的理想解決方案。