二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9097164 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種晶圓測試和計量設備,為半導體行業提供卓越的表面檢查和缺陷檢測能力。該系統是晶片生產測試的理想解決方案，為用戶提供可靠準確的測試結果。KLA RS75具有晶片處理平臺,可支持6英寸大小的5英寸晶片。這使設備能夠在一系列產品測試配置中使用。晶片采用光學和電氣技術相結合的方式進行檢查。4英寸乘4英寸成像陣列用於晶片的光學成像,電氣測試使用特定的傳感器配置來檢測產品和工藝故障。TENCOR RS 75采用自動化數據采集技術,單次提供晶圓表面成像和可靠性測試,通過其高性能圖像處理算法優化了機器的性能,在一系列應用中實現了可靠的靈敏度。這包括掃描表面拓撲缺陷、汙染、沈積和空隙,以及設備故障分析。該工具還支持各種缺陷測量,如缺陷高度、缺陷間距、缺陷深度和缺陷最小/最大尺寸。該資產與用於晶圓處理的機械臂集成在一起，可用於晶圓檢查和計量。機械臂的精確運動範圍為+/-0.02毫米，可到達周圍裝置進行光刻和屈服管理。此外,模型的可重復性和精度在0.2微米級測量時指定了最大+/-0.1毫米。RS75還配備了先進的硬件和軟件控制系統，以確保設備在整個過程中保持穩定。這包括每像素42毫秒的數據采集速度、手動和自動圖像捕獲以及高級波形處理功能。此外，該系統可與其他系統連接，以支持實時分析和測量結果的數據記錄。PROMETRIX RS-75是半導體生產測試的理想解決方案,可提供可靠、準確和可重復的結果。利用先進的硬件和軟件控制系統,該設備提供卓越的表面檢測和缺陷檢測功能,以確保獲得最高質量的結果。