二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9153014 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9153014
晶圓大小: 2"-8"
優質的: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Handler:
Desktop
Without wafer transfer handler
Pentium Pro 150 MHz Computer
64M DRAM
High resolution LCD color monitor, 15"
Hard Disk Drive (HDD): 200M
Diskette drive, 3.5"
Capacity: 1.44 MB
Data transfer: SECS II / RS232 Communication
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 Sites programmable (ASTM Standard tests included)
Contour / 3-D Map, diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 sites programmable
Probe qualification: 20 Sites
Single / Dual configuration options
Analysis capabilities:
Contour, XY Die, 3-D surface maps
Diameter scan
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing and data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference and ratio maps
Measurement specifications:
Range: 5 mΩ/sq - 5 mΩ/sq
Typical measurement time: 1.2 sec per test site
Based on NIST (NBS) standard wafers corrected to 23°C
Repeatability: <0.2% (1 Sigma)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種高精度晶圓測試和計量設備。該系統具有0.2納米的先進測量精度，非常適合晶圓表征需要。它還為平面和3D形狀測量提供成像功能。該單元由功能強大的軟件包組成,旨在管理所有不同的組件,允許用戶配置其計算機設置,並與KLA高級計量和測試解決方案集成。軟件套件由各種模塊組成，允許用戶進行校準、分析數據和創建報告。KLA RS75配備了專有的視覺工具，其中包括提供自動對焦調整和優化相機曝光控制的集成對焦調諧器。這種傳感器利用高分辨率的2048-by-1536光石陣列來捕捉樣品的圖像。此外,它還具有先進的自動對焦資產,使模型能夠在將樣品呈現給視覺設備時自動調整焦點平面。TENCOR RS 75還集成了自動采樣功能,用戶可以在晶圓測量之間快速切換。通過使用高分辨率ASIC和高速電動機，系統允許樣品以1,000毫米/秒的速度移動。這使用戶能夠最小化測試時間表並最大化輸出。該裝置配有各種探針和傳感器。Timedelay integration （TDI）為測量特征的高度、寬度和深度提供了最大數量的關鍵非接觸測量能力。它還有一個可變光學機器，允許用戶調整TDI工具捕捉到的圖像的縮放倍率，提供詳細的3D圖像。此外，該資產還包括各種視覺系統，適用於從映射到邊緣檢測的應用。它還有各種各樣的檢查工具，從線路末端測試到晶圓缺陷檢測。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75具有增強的用戶界面、用戶友好的控件和強大的分析功能,非常適合要求最苛刻的項目。
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