二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9163275 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圓測試和計量設備是半導體工業中材料的無損檢測、表征和計量的精密設備。該系統通過提高吞吐量、準確性和自動化來提供高生產率。KLA RS75是一種自動化的非接觸單元,能夠測量半導體材料的多種物理性質,包括介電常數、殘余應力、層厚、空隙含量和表面粗糙度。該機還通過線性掃描控制、掃描合成、3D圖像掃描等優化算法和功能,提供全面的晶圓測試能力。該工具配有高分辨率相機資產和精確測量階段。光學子系統允許在廣泛的應用中對晶片進行全場測量。TENCOR RS 75還提供靈活的模具解決方案,用於在各個站點上進行準確的測試和計量。該模型由基於窗口的PROMETRIX RS-75軟件控制。此軟件的設計允許從測量中輕松進行數據分析。它還允許高效設置和校準掃描功能,並提供全面的圖形用戶界面,用於全過程控制和數據采集。RS-75具有最新的3D掃描技術,可實現高速度和準確性。它還提供各種掃描策略和多個測量選項。TENCOR RS75還提供精確可靠的絞線等級排序答案。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75是同類產品中的第一款,提供高性能和可靠性,同時為半導體測試和計量提供經濟且經濟高效的解決方案。可用於測量多種參數,包括介電常數、殘余應力、層厚、空隙含量和表面粗糙度。TENCOR RS-75晶圓測試和計量設備是一種可靠、創新的測試和計量系統。
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