二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9172359 待售

ID: 9172359
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在實現前沿半導體器件的制造。該系統采用復雜的算法和先進的自動化技術,為分析先進半導體產品的特性促進復雜的測量過程。KLA RS75在低能耗水平下以高吞吐量和準確性運行。它采用了獲得專利的SixAxis TM測量技術,結合了幾種先進的信號處理算法,為用戶提供了精確的樣本測量。該單元可用於各種晶圓測試應用,從一般的電氣測量到復雜的應力測試。該機器由一個12.5 μ米的光學測試頭組成,非常適合在矽片上測試小特性。它的檢測範圍為0.5-3.5mm,使其能夠為微米級測試提供增強的設置。而且,該工具與一系列不同的基材材料兼容,如聚酰亞胺、Kapton®、環氧樹脂、自旋玻璃(SOG)以及其他用於敏感半導體器件的材料。它還內置了防粘算法,使其能夠執行靜態非接觸式測量,為用戶在測試敏感樣品時提供更高的可靠性和準確性。TENCOR RS 75還配備了強大的成像算法和3D計量能力,使其能夠在更快的周轉時間內以高精度分析樣本。這一資產還能夠進行缺陷檢查,使其能夠在極小規模的試驗場檢測到模具異常和異常。此外,它的完全自動化功能使配置和使用變得容易,因為它提供了直觀且用戶友好的操作模型。總體而言,RS 75是一種有效的晶圓測試和計量設備,非常適合半導體生產行業的領導者。它采用先進的SixAxis TM測量技術,並配有智能成像算法和用於精確樣品測量的3D計量功能。該系統還能夠快速、準確地檢查缺陷,具有完全自動化的功能,便於配置和使用。
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