二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75晶圓測試和計量設備是一種全自動、高通量的解決方案,旨在滿足半導體工藝和器件表征的挑戰性需求。KLA RS75提供了一套集成的光學計量工具，包括臨界尺寸（CD）測量、晶圓形狀（WS）測量、表面紋理（ST）測量和過程控制。TENCOR RS 75的工作原理是將激光器引導穿過晶圓，並通過錐體鏡收集數據點。這種先進的光學掃描系統能夠測量到亞微米分辨率。堅固的光學子系統與支持晶片並將其移動到不同位置進行進一步分析的自動化材料處理平臺相結合。此外,該設備還采用了最先進的對準和定位技術,可提供亞微米的可重復性。配備先進的分析軟件，TENCOR RS75可以快速收集廣泛的特性，生成復雜的3D地圖和圖形。與傳統的手動技術相比,這臺高精度的機器提供了精確且可重復的測量結果。在全球範圍內,RS75被用於識別潛在的工藝偏移,然後再導致產量損失。實時流程信息可以主動控制數據收集和後續分析,從而大大縮短了識別和描述潛在流程偏移的時間。PROMETRIX RS75具有高吞吐量、快速周轉和卓越的數據完整性,為測量用於過程控制和設備特性的晶片提供了出色的解決方案。