二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 150C #9112579 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150 C是一種高端晶圓測試和計量設備,其設計目的是提供對復雜過程的過程控制和分析,並提供最大吞吐量。KLA SM 150 C的特點之一是配備了專門的成像系統，捕捉晶圓2D和3D表面特征的高分辨率圖像，允許進行深入分析以檢測異常、缺陷和不規則性。機載處理和智能算法支持先進的計量學功能,包括自動缺陷檢測和粒子大小確定。該裝置還擁有一個高精度的電動X-Y級，晶片在成像和測試期間駐留在該級上。TENCOR SM 150 C是Smartscan家族的一部分，通過有源光學器件、激光自動對焦機和光學圖案識別確保了精度和重復性。此工具可以靈活地調整到各種基板、傳感器和樣品類型。步長測量是通過其先進的共聚焦傳感技術能力和支持底物分析和高級產量控制功能的綜合軟件工具來進行的。作為Smartscan系列的一部分,PROMETRIX SM 150 C資產可以與其他晶圓級計量工具集成。SM 150 C提供了一個用戶友好的觸摸界面，以增強導航和可用性，一個基於窗口的軟件包，用於控制測量和訪問現成的計量軟件，如SEMulator3D（3D掃描電子顯微鏡）和Quaterx（基於GDS的自動對準）。對模型進行了優化，以提供快速的吞吐量和不妥協的亞納米精度，從而實現高度可靠的工藝控制。此外，該設備為單一儀器設置和集群安排提供了靈活性和可擴展性。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150 C系統配備了多項功能,可確保實現最大的功能和價值,例如先進的視覺單元、泄漏檢測、平坦度測量以及全天候控制和產量監控。此外,計算機還提供了擴展的數據保護功能,包括快照功能和防篡改功能。KLA SM 150 C在KLA業界領先的客戶服務支持下,是用於過程控制和分析的最先進、最全面的晶圓計量系統之一。從薄膜測量和基板計量到質量控制和缺陷分析，TENCOR SM 150 C提供了質量、速度、可靠性和可擴展性，以支持廣泛的過程控制和計量應用。