二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #139117 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200是一種晶圓測試和計量設備，提供一套全面的計量和檢驗能力，包括光學計量和表面計量。該系統結合了集成的光電成像單元、先進的軟件和硬件架構，提供自動化、高通量的檢測和計量測量。此外,該機器還具有軟件驅動的環境,可簡化操作、最大化數據吞吐量以及用戶友好地訪問數據、資源和功能。該儀器設計用於缺陷檢測、特征大小、薄膜應力、臨界尺寸測量、邊緣檢查和晶圓評分等應用。KLA SM 200提供both2D和3Dmetrology功能,旨在滿足眾多晶圓制造和晶圓測試過程的需求。該儀器利用先進的成像和光學技術提高了精度、可靠性和吞吐量。集成的LED光源和偏振分束器為優化缺陷檢測提供了最佳照明。此外,該工具還提供了Flex-LW,這是一種掃描激光對準工具,可與TENCOR SM 200配合使用,提供實時晶圓對準和調整的自動化方法。SM 200提供了一套廣泛的工具和參數來定制測試程序和計量分析。集成的基於規則的腳本語言可幫助實現資產操作的自動化,從而輕松定制測試以滿足特定的流程要求。專用的用戶界面結構提供對自定義測試所需的所有參數和設置的訪問。PROMETRIX SM 200還提供了強大的工具和分析引擎,能夠對計量數據進行分析和解釋。該模型的圖像分析功能包括統計過程控制、自動對焦算法以及用於自動特征大小、缺陷識別和高分辨率成像的圖像處理算法。該儀器非常適合半導體行業的廣泛應用，包括產量提高、工藝改進和缺陷分析。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200與行業標準軟件高度兼容,使其易於與其他數據可視化、分析和報告軟件程序集成。該儀器還可用作綜合質量保證（QA）過程的一部分，或用作測試和測量應用的獨立設備。