二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #189550 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200設備是KLA公司開發的一種非常可靠、高精度、自動化的晶圓測試和計量系統。其優越的分析能力源於其獨特的平臺：TENCOR自主映射單元（KAMS）。這臺機器使用KAMS的專有視覺算法和三維配準，以遠遠超出傳統錯位掃描系統所能達到的精度和精確度來測量晶圓模式。KLA SM 200工具有三個主要組件，使其能夠如此精確可靠：圖像傳感器、探測器和KAMS軟件。圖像傳感器是一種三通道CCD數字彩色相機，能夠捕捉晶圓圖樣的高分辨率圖像，這些圖像被數字化並存儲在機器的內存中。該探測器采用KAMS開發的算法，是一種集成的分割波長測光資產，使用各種傳感器測量晶圓圖樣的大小和形狀，並檢測任何缺陷和不符合要求的情況。最後，KAMS軟件是模型的大腦，提供了強大的分析能力和快速詳細分析模式的能力。TENCOR SM 200是高容量生產先進半導體晶片的理想選擇。利用先進的分析能力，可以同時精確測量和檢查多個基板，提供一致的結果和可重復性。它還具有減少操作員幹預時間的功能，如自動和半自動宏和無需手動輸入即可重復復雜測量周期的能力。SM 200為用戶提供屏幕上的數據演示工具、錯誤警告以及對PROMETRIX廣泛的服務和支持包的訪問。一個值得註意的功能是它的模塊化計量套件，它允許用戶根據自己的特定需求定制設備。例如，用戶可以添加各種高級分析工具，例如Spectroscopic Mapping Package，它執行光度和分光光度測量來檢測晶圓缺陷。總體而言,PROMETRIX SM 200系統是一個精心設計的解決方案,使制造商能夠在生產高質量晶片的過程中獲得保證和信心。它具有無與倫比的精確度和精確度,易於使用,非常適合大批量生產過程。