二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9105330 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是一種晶圓測試和計量設備,執行表面分析、缺陷檢測、計量和缺陷表征等一系列功能。該系統包括一個掃描儀、一個確定性晶圓處理單元以及各種定制要求的選項。KLA SM 300將先進技術用於其廣泛的任務。它配備了具有500萬像素分辨率的先進感應數字顯微鏡。這使機器可以執行各種操作,如膠片結構成像、表面拓撲和缺陷形態。該顯微鏡還用於測量薄膜厚度和評估微觀結構。另外,TENCOR SM 300具有模式識別功能,分析晶片表面的表面缺陷和缺陷。該機器能夠檢測高通量的小缺陷,能夠區分不同類型的缺陷。這有助於快速識別故障區域並改進質量控制。SM 300的確定性晶片處理工具分為「蝕刻探測階段」和「高分辨率檢測階段」兩個階段。蝕刻探測階段具有高分辨率的成像資產和楔形探針技術,允許對表面下的晶片進行成像。此外,高分辨率檢查階段包括一種非接觸技術,用於對精細結構成像和測量晶圓輪廓。PROMETRIX SM 300能夠提供詳細的計量測量,例如長寬比測量、輪廓測量、關鍵尺寸和陣列度量。計量測量也用於優化通過/失敗決策過程和提高產品質量。KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300易於使用,並具有直觀的用戶界面,因此適合任何環境。它還包括精確和精確的校準工具,並提供自動化程序。專門的附件,如粒子計數器和專門的軟件包,可作為增強性能的選項。KLA SM 300是一種高度先進的晶片測試和計量模型,提供了一整套用於晶片排序、缺陷掃描和計量的功能。該設備快速、可靠、準確,提供了一種簡單的質量測試和評估晶片的方法。
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