二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9188572 待售

ID: 9188572
Film thickness mapping system Heads Manual included.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是專門為測量和測試晶圓質量而創建的設備。它具有高速度、高精度和大容量,適用於廣泛和可變的應用程序。KLA SM 300被設計為一個完整的計量系統的一部分,它遵循制造過程,以確保組件的制造正確。它提供了幾種功能,例如成像、缺陷識別和晶片的位置精度,這些功能在現代半導體生產中很重要。該單元由各種組件組成,這些組件協同工作以確保晶圓質量得到維護。TENCOR SM 300的光學子系統根據應用使用白色和紅色激光束。這些激光器一起使用,用於快速準確地測量、檢查和識別缺陷。對準機提供精確和精確的成像,而檢查系統提供實時和深入的分析。PROMETRIX SM 300的測量子系統具有高速精確的線性測量能力,這意味著晶圓質量得以維持。測量系統提供晶圓形狀、表面粗糙度和邊緣特征的詳細信息。缺陷檢測子系統采用光學顯微鏡、聲學顯微鏡、成像等方式,快速準確地檢測晶圓缺陷。最後,SM 300中的計量軟件處理來自測量、圖像捕獲和分析子系統的輸入。然後,這些數據將用於分析、比較和評估晶片的生產率、準確性和性能。軟件還允許報告和繪圖功能,以提供晶圓性能指標。總體而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300是衡量和測試晶片質量的可靠而高效的工具。它提供高速、高精度和大容量,可用於各種應用程序。它的各種組件和軟件確保晶圓質量得到維護,生產力和性能得到跟蹤。
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