二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #293587919 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300是一種完全集成的晶圓測試和計量設備,旨在快速測量半導體器件晶圓的各種電氣、光學、物理和化學特性。KLA SpectraMap SM 300是用於生產環境的強大工具,在測量、靈活性、精密自動化和低運營成本方面提供了高度的精確度和精確度。該系統使用基於矽光子學的傳感器在各種材料上收集數據，從而能夠有效地測量薄膜光學、電氣、化學和物理特性。該單元還能夠對片狀電阻、電流密度、泄漏電流、介電擊穿、表面鈍化等電氣特性進行2D和3D映射。TENCOR SpectraMap SM 300即使在信噪比較低的情況下也能偵測到非常小的特徵，允許改進缺陷檢查和表征。PROMETRIX SpectraMap SM 300可在多種材料中提供優異的性能,包括矽、氮化氙、砷、矽的材料以及許多其他類型的材料。該機可測量電壓、電流、I-V特性、電荷、摻雜、摻雜濃度、介電擊穿和暗飽和電流等電氣特性。它還可以測量厚度、折射率、帶隙、吸收長度和表面粗糙度、表面清潔度和粘附強度等力學性能。為確保測量的準確性,該工具具有許多高級功能。其中包括一個直接聚焦圖像傳感器（DFIS）耦合單元，允許在非晶態和結晶材料上實現納米級分辨率。該資產還包括用於自動特征識別和結果分析的Advanced Semiconductor Metrology （ASM）軟件、用於輕松檢索數據的數據管理模型以及用於降低電氣可變性的低漂移電壓源。最後，設備有廣泛的配件和探頭，以及車載電腦控制，確保每次都有最佳性能。總體而言，SpectraMap SM 300是一種先進的晶片測試和計量系統，旨在快速準確地測量半導體器件晶片的各種電氣、光學、物理和化學特性。它的智能工程和復雜的自動化使其成為生產環境的理想選擇,允許快速、可靠的數據收集和全面的分析。