二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #9204663 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300是一種晶圓測試和計量設備。它提供了具有亞納米分辨率的晶圓表面測量的精確實時信息。其設計為晶圓故障檢測和內聯屈服管理提供了先進的計量能力和改進的測量性能。該系統能夠檢查從常規工藝步驟到最先進的3D反向光刻技術的所有內容。它旨在優化復雜晶片模式的各種工藝步驟。可變采集速度、自動聚焦映射和自動調諧匹配等功能可優化平面化或非平面化晶圓拓撲的曲面和地形測量。KLA SpectraMap SM 300利用專有的設計和算法實現了臺面自動檢測、角檢測以及其他形式的晶圓故障分析和表征。該單元還支持多種檢查模式，包括步進重復、區域掃描、自動和手動。機器提供了全方位的計量測試功能，允許用戶快速分析晶圓表面。利用其高速光學處理，該工具提供了高度、厚度、表面地形和晶圓材料特性的快速而精確的映射。它能夠快速檢測、定位和分類外部結構,例如晶圓頂部和底部表面的不規則性。資產的自動化SR3D （Structure Real-time 3D）檢查模式可以比傳統方法更快地檢測各種類型的缺陷和特性。該模型還能夠提供實時缺陷審查、自動歸檔結果和圖像以及化學和物理分析。TENCOR SPECTRAMAP SM300是一款高可靠性、高性價比、性能優異的設備。它的多才多藝的設計允許結合一系列額外的特性，如電子束檢查和納米焦點成像。該系統具有先進的特點和計量能力，提供了完善的實時晶圓檢測和計量解決方案。