二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293594487 待售

ID: 293594487
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在優化半導體晶圓的檢驗和計量。KLA UV 1050系統結合了激光和光譜等其他技術,使精密計量成為可能。它旨在幫助降低擁有成本和優化生命周期成本。該單元可用於晶圓檢測、計量、采樣、性能監測。TENCOR UV-1050機采用激光幹涉儀,提供高分辨率的表面平面度測量。結合了多波長光譜儀,得到高精度的光學反射率、表面取向和表面粗糙度測量。它可用於測量地形樣品和晶片上的局部反射強度。還包括偏振門控成像工具,可同時測量表面反射率和表面方向。資產還使用自動化來提供高吞吐量和可重復性。它還配備了先進的圖像分析軟件,可以精確測量晶圓上的平面和非平面地形。這是通過具有最小化照明效果和改進的噪聲抑制的波形圖像來完成的。PROMETRIX UV-1050模型具有先進的計量和檢查能力,包括在線計量和故障分析。它可以提供有關晶片的關鍵屬性(如形狀、反射率、表面粗糙度、缺陷拓撲和曲面方向)的詳細信息。此外,設備可以在整個平板電腦表面上進行多次測量,或者快速或使用逐步掃描,以提高準確性。KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050系統還提供高級缺陷隔離、分類和分析。這可以包括靜態和動態故障分析、空間解析缺陷檢測以及與材料無關的故障檢測。這些特性使PROMETRIX UV 1050成為快速準確晶圓測試和計量的理想設備。
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