二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293600853 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備，專為需要光刻和晶圓測試過程的質量控制和過程監控的半導體制造商而設計。它在單個平臺中結合了自動化計量、缺陷審查和產量分析功能,為流程開發和質量控制應用提供了全面的解決方案。KLA UV 1050采用激光技術和獲得專利的激光自動對焦系統,以優異的精度和部分到部分的可重復性測量臨界尺寸。它采用分光光度法進行精確的顏色測量，能夠檢測到微小的反射率差異。此外,該單元還能夠以高精度測量特征到小幾何形狀和大間隙。TENCOR UV-1050還具有增強的用戶界面,可提供易於使用的數據錄入機和直觀的圖形用戶界面（GUI）,方便快速運行。此工具減少了測量時間,並消除了與手動數據輸入相關的錯誤。此外,資產還具有強大的缺陷審查功能,使操作員能夠生成詳細的缺陷報告並快速識別晶圓的變化。PROMETRIX UV 1050是傳統昂貴的單波長系統的經濟高效替代品，提供了擴展的性能和簡化的維護。此外，它可以與外部系統集成，實現自動對準和焦點控制，加上長期的過程監測和分析。它配備了先進的特征提取算法，能夠實時分析圖案和特殊形狀。除了晶圓測試和計量功能外，該模型還設計用於方便叠加，並提供電子束檢測能力。它提供了復雜的現場分析,用於識別和診斷與叠加性能相關的過程變化。此功能有助於確保器件-基板相互作用的質量和半導體器件的整體精度。所有這些功能，結合UV 1050的高速掃描功能，使需要高端性能的應用能夠快速、準確、經濟高效地完成。它們使KLA UV-1050任何尋求可靠和精確晶圓測試和計量解決方案的人的理想選擇。