二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293683730 待售

ID: 293683730
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備,提供準確、高分辨率的成像、快速的測試後分析和關鍵特征檢測。該系統旨在處理具有挑戰性的應用程序,如缺陷定位、叠加對齊以及在各種極端過程中的過程監控。通過利用其高速激光、晶圓單選和完全成像自動化,它提供了極快的吞吐量,以提供快速反饋。KLA UV 1050有一個最先進的光學單元,包括一個光導,允許整個晶圓場甚至照明條件和最新的高Q激光,確保最高性能。TENCOR UV-1050還具有先進的舞臺機器和5 µm的小斑點尺寸,即使在緊密的模式下也能提供卓越的成像和計量精度。UV 1050還具有集成的電動z-slide,配備自動對焦深度和自動對角校正功能。Z-Slide可提供快速、精確的運動,可調節至20 µm,從而實現高分辨率晶片的對準和定位。此外,該工具采用了創新的Auto-Slide單數和晶圓映射技術,增加了吞吐量,減少了人為錯誤。UV-1050還擁有一系列先進的汙染控制功能,如自動清潔和減輕微小顆粒和蒸汽富集,在成像過程中保護晶片,以便進行質量和有效的晶片監測。TENCOR UV 1050還包括高級軟件套件,包括自動化缺陷分析、工具維護和數據記錄、基於Web的綜合報告資產以及作業跟蹤模型。提供多種語言的定制報告和數字圖表。總體而言,KLA UV-1050是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在滿足過程控制、產量管理和具有挑戰性的應用的關鍵特征檢查的需要。其快速的吞吐量、可靠的圖像采集、先進的汙染控制以及全面的軟件包,使其成為晶圓測試和計量的綜合解決方案。
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