二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751596 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備，為半導體器件生產提供高精度、準確性和快速吞吐量。該系統采用深紫外線照明進行晶圓測試和計量，非常適合薄膜計量和粗糙度測量等應用。此單元旨在幫助制造商最大限度地提高質量,同時降低成本。KLA UV 1050利用基於各種紫外線（UV）光源的多波長計量技術，包括三波長氟化K（KrF）激光器和雙波長ArF激光器。KrF激光器能夠比傳統的可見光計量法獲得更高的精度。ArF激光器用於獲取與薄膜厚度和均勻性有關的關鍵參數。這兩種類型的激光器提供了廣泛的控制和測試能力，以滿足各種生產工藝的需求。TENCOR UV-1050還包括一臺精密的軟件機器，用於收集、控制和分析晶圓測試和計量過程中的數據。該軟件可用於監控和調整晶圓加工參數，以保證最優質的產品。它包含幾個組件,如圖形用戶界面（GUI）、數據收集、晶圓映射和缺陷分析,以及報告生成工具。UV 1050資產的硬件部件包括高分辨率相機、光學補償器和樣品室。相機捕獲從晶片反射出來的光，用於測量諸如膠片厚度和均勻性等參數。光學補償器調整光束的路徑，以提高測量精度。此外，樣品室創造了最適合測試和計量過程的環境。PROMETRIX UV-1050是一種功能強大的晶圓測試和計量模型,可以為半導體器件的生產提供卓越的結果。其強大的硬件和先進的軟件可以實現高精度和快速的吞吐量，而激光保證精確和無錯誤的結果。UV-1050是半導體工業質量控制和質量保證的理想工具。