二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293754232 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 293754232
優質的: 1997
Thin film measurement system, 6"-8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供與光電和機械性能相關的各種特性的精確測量。該系統以電傳頂點照明為基礎,具有一系列可用的光學元件,包括雲母和石英材料,以及高速光譜,以提供精確的測量,如晶圓的厚度、深度和表面粗糙度。該單元還設計用於分析和表征薄膜和晶片上的小特征,允許高分辨率成像和計量。KLA UV 1050配備了高分辨率成像機(HRIS),用於快速、精確地表征晶圓上的任何特征。TENCOR UV-1050提供各種模式配置,如單模式、廣域模式和多點模式。單一模式是一種多合一的解決方案,它可以同時測量晶圓的全局和局部屬性。這是一個非常通用的工具,因為它配備了幾種不同波長和光圈的激光器,使得它能夠分析復雜的結構和模式。廣域模式提供了更高分辨率的成像,當與多點模式結合時,它允許一次檢查幾個單獨的點,使其非常適合檢查晶片上的非常小的特征。UV 1050還包括高級邊緣檢測資產(EDS),可用於評估形狀和大小方面的缺陷。EDS檢測邊緣,並使用此信息查找和識別各種類型的缺陷。這是確保產品質量符合要求標準的好方法。此模型的其他特性包括焦點校準設備(FCS),可用來確保任何點測量一致且準確。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050設計為以非常直觀的方式使用,因為所有配置均以圖形方式進行管理。總體而言,KLA UV-1050是一個通用和全面的晶圓測試和計量系統,專門設計用於提供光電和機械性能的精確測量。對於需要精確可靠測量晶片以達到產品質量標準的公司來說,這是理想之選。
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