二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293811723 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體晶圓的高精度尺寸分析。它是一個通用、高性能的系統,可提供快速、準確的測量結果和可重復的結果。該單元采用光學、幹涉和電動掃描技術的組合來分析晶圓特征。具體來說，它利用近紅外激光光源進行衍射測量，幹涉測量來測量微小的特征，以及對較大的特征采用電動掃描臺。激光光源發出廣譜的光，然後通過一系列光圈和透鏡聚焦。它最終集中在晶圓表面上。這種光產生一種幹涉模式，然後用來測量晶圓表面上發現的結構的形狀和大小。該機還配備了低相幹幹涉儀，用於測量諸如凹坑和臺階等微觀特征。這種幹涉測量是基於相移原理：測量被反射出特征的光，並與起始相進行比較。兩個值的差異與特征的實際大小成正比。最後，該工具包括一個電動掃描階段，允許更大的特征被精確測量。掃描階段以受控的方式移動樣品，同時進行多次測量並組合，以獲得更準確的結果。所有這三種測量技術結合起來，對晶圓特征進行全面分析，使用戶能夠確定形狀、大小、位置、表面地形等等。KLA UV 1050能夠測量尺寸低至5納米的特性，使其能夠分析最具挑戰性的晶圓。除了其優越的衡量能力外，資產還提供了一系列的好處。它配備了提供快速掃描和高精度的魯棒運動控制模型，使其適合於高通量測量。它還具有確保樣品穩定的閉環空氣軸承級，有助於減少誤差和提高精度。總體而言，TENCOR UV-1050是一種先進的晶圓測試和計量設備，為分析半導體晶圓提供了一種快速可靠的方法。它結合了光學、幹涉和電動掃描技術，是各種應用的理想選擇。