二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9031773 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供快速、準確和可靠的晶圓測試和測量結果。它旨在支持基於輸出的測試和計量，即「OIM」，為各種工藝技術提供嚴格的性能優化和能力保證，包括光刻、沈積、蝕刻、平面化和後工藝計量。KLA UV 1050包括一個用於無損、高分辨率2D成像、3D輪廓掃描和折射率（RI）計量的低真空（LV）計量室。該系統還包括一個紫外線光源，用於光致抗蝕劑和其他晶圓表面成像應用。LV腔室針對圖案化晶圓成像進行了優化，可以精確測量各種CD計量任務的臨界尺寸（CD）。該裝置設計用於在惡劣的制造環境中可靠地運行,可以應對溫度、壓力和加速度曲線的變化。TENCOR UV-1050還包括一項獲得專利的校準標準（CALIBRATE）和斜率匹配（SLO-MATCH）技術,該技術能夠快速準確地表征產品質量和性能的不同方面,並且能夠通過單次偏移執行多個CD測量。這樣就可以在具有高吞吐量的過程室中進行徹底和連續的質量評估。該機器可配備各種可選組件,便於增強數據采集和分析。這些包括各種線性校正模塊、高級漂移補償算法以及各種探針選擇選項，包括接觸探針、掃描探針和非接觸式探針。此外,該工具還支持高級源和檢測器連接,並且與最新的掩碼、晶圓、薄膜和標線軟件兼容。KLA UV-1050符合業界最流行的測試標準，包括SEMI、ISO和MIL-Standard測試服。因此，該資產適用於各個行業，如半導體、微電子、航空航天等行業。此模型為用戶提供了所有主要工藝技術的單一測試源,並消除了對專用測試源和硬件的需求。因此,它有助於簡化生產過程並降低成本。