二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564 待售

ID: 9182564
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8" Handling robot: H2 Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm) Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System) PC: Intel P3 450MHz OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0 SECS II Interface 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備。它旨在對薄晶片和超薄晶片進行可靠和可重復的測量。它能夠測量各種參數,如電阻率、厚度、地形和組成。該系統采用掃描電子顯微鏡(SEM)技術和一系列檢測器,精確測量薄和纖薄樣品的計量和電性能。各種子采樣工具可用來測量一系列參數,包括電阻率、地形和功率。該單元配備了可變高速XY掃描以減少測試時間,以及可變步長的可變角度平臺。角度平臺能夠選擇不同角度,從而創建更詳細的地形圖。該機還有兩個可變放大倍率的攝像頭,允許用戶放大不同區域的細節。KLA UV 1050還配備了顯微鏡,旨在為用戶提供高度詳細的樣品圖像。此外,該工具還提供光譜能力,允許進行一系列測量。該資產能夠測量厚度高達500 nm的薄薄晶片。該模型還提供了一個內置的熱電偶,可以用來測量溫度。熱電偶的輸出被轉換成振幅或頻率信號,進而用來進行測量。TENCOR UV-1050具有廣泛的測量能力,是研究人員和實驗室需要重復和可靠測量的絕佳工具。此外,設備還具有很高的靈活性,允許用戶為作業選擇最佳工具。因此,對於那些需要精確測量薄薄晶片的人來說,它是一個必不可少的工具。
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