二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9185804 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備，自動化半導體質量保證和工藝優化。它是一個可配置的多應用檢查系統，結合了兩種技術用於高保真成像和同時電容探針用於精確測量。該裝置能夠快速準確地檢查和測量半導體晶片上的亞微米尺寸特征。KLA UV 1050使用專有的最終影像機（FIS）提供粗糙或精細的成像能力。其FIS利用紫外線，允許光學檢測矽片上的金屬和非金屬結構。由於紫外線的波長比可見光短，這臺機器能夠檢測到比傳統檢測技術小得多的特征。此外,該工具具有多攝像頭體系結構,可以通過曝光場補償來檢查晶片的兩側,從而確保從兩個角度獲得一致的圖像。此外，電容探針被集成到TENCOR UV-1050中，以精確測量電線的厚度。利用電容測量系統，可以快速、經濟高效地進行質量測量。此外,探針還支持晶圓級配方優化,以確保流程得到高效優化。PROMETRIX UV-1050能夠以高精度測量、監視和控制晶圓幾何形狀。它具有易於使用和健壯的嵌入式控制資產,非常適合用於質量過程控制系統。它還具有擴展的自動化監視功能,允許檢測早期流程問題、識別超出規格的結果並實時提醒用戶註意潛在的產量問題。最後，TENCOR UV 1050采用了功能強大但直觀的軟件程序，允許用戶快速、輕松地創建自定義檢測配方。它還包括易於使用的圖形用戶界面和全面的報告模型，使用戶能夠以各種格式查看和分析檢查結果。總體而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050是一種先進的晶圓測試和計量設備,可快速提供精確的測量和高保真成像。它結合了光學成像和電容探針，非常適合質量過程控制和不斷改進。