二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9233594 待售

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ID: 9233594
晶圓大小: 6"
Film thickness measurement system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種高性能晶圓測試和計量設備,用於故障分析、產量改進、質量保證和工藝表征。它利用在紫外線和寬帶紅外波長上工作的激光器和成像元件來提供產品和基片的高對比度成像。該系統提供卓越的自動化計量功能,即使在非理想測量期間也能提高吞吐量和準確性。其先進的具有4K、2K和1K配置選項的BCAM分析儀可以精確描述任意復雜的特征,如粒度、地形和薄膜厚度。這種精確表征任意特征的能力使設備能夠準確檢測產量限制缺陷。機器的成像部件還能夠檢測各種粒子類型,從而提高了工藝的均勻性和更嚴格的工藝控制。它獲得專利的低粗糙度光束掃描還可以在具有挑戰性的環境中實現更精確的成像。此外,KLA UV 1050還配備了先進的軟件工具,可方便高效地進行晶圓檢查、數據采集、缺陷管理和生成報告。這些工具旨在幫助確保收集的數據準確、可解釋且質量最高。TENCOR UV-1050能夠集成到一個全面的故障分析工具中,從而能夠對產品缺陷進行完整的分析,從識別到根源再到產生改進。此外,該資產與KLA和TENCOR系列故障分析系統完全兼容,從而允許跨系統共享數據。總之,KLA UV-1050是一種最先進的晶圓測試和計量模型。其專門的成像元件和先進的軟件工具使設備能夠提供卓越的計量能力,從而提高了非理想設置的吞吐量和準確性。此外,該系統能夠完全集成到一個全面的故障分析單元中,從而改進產量和工藝特性。
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