二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9310905 待售

ID: 9310905
Thin film measurement system Amorphous silicon Oxide on aluminum Oxide on tungsten Transparent on transparent Oxide on poly Thickness range: 125 A to 250 A ±2.5 A 250A to 1.0 µm i1% Throughput: (90) Monitor wafers per hour, 8" (75) Pattered wafers per hour, 8" Pre-programmed focus (39) Patterned wafers per hour, 8" auto focus Absolute accuracy: Measurement time: 1.5-5 seconds typical per site Mapping: Die, Contour, 3-D.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050設備是一種針對半導體制造商的最先進的晶圓測試和計量解決方案。該系統提供了缺陷檢測、厚度和特征計量以及過程管理的最新技術。KLA UV 1050單元包括一套專有和業界領先的技術、軟件和服務,提供了一個集成解決方案,專為高晶圓吞吐量和減少停機時間而設計。TENCOR UV-1050機融合了2x2 CCD成像工具、超低噪聲和分辨率CCD相機、先進照明系統、熒光檢查和基於PC的過程控制等最先進的技術。這一資產是專門為滿足半導體行業的嚴格要求而設計的。該模型還配備了多種選項,如自動對齊和成像、手動成像階段、自動化過程控制和配方管理以及其他高級功能。此外,該設備允許與計量、清潔、缺陷檢查和沈積系統等其他設備集成。PROMETRIX UV-1050系統還包括一個先進的紫外線檢測照明單元,設計用於高晶圓通量,同時保持超低噪聲靈敏度。這臺機器提供準確的缺陷定位和掩模檢查,同時補償不均勻的輻照度跨越晶片表面。此外,該工具還提供精確的照明、角度相關的損耗測量以及靈活的自動化功能,可用於手動進行資產內晶圓對齊。KLA UV-1050模型通過集成目標表和圖像處理技術,提供高吞吐量缺陷檢測功能。KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050設備還具有創新的「跨晶圓均勻性」系統,以確保精確的計量測量。此單元專門用於測量晶片表面所有部分的特征均勻性、缺陷靈敏度和臨界尺寸測量。此外,該機器還利用多種專有算法來提高缺陷檢測精度,最大限度地減少錯誤檢測,並消除可能的缺陷。總體而言,TENCOR UV 1050 Tool是一種綜合性晶圓測試和計量解決方案,旨在滿足半導體行業最嚴格的要求。它集成了業界領先的技術和專有技術,以提供準確、高吞吐量的缺陷檢測功能。此外,它還提供先進的對齊和圖像處理技術,以及跨晶圓均勻性系統,以實現特征均勻性和臨界尺寸測量的精確測量。
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