二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9377287 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050是一種晶圓測試和計量設備，使用先進的紫外線（UV）成像技術來評估半導體晶圓的缺陷、缺陷和非均勻性。該系統將精確、高速的全晶片成像與低光照強度源相結合，以檢測整個晶片的微觀不規則性。該單元的主要成像組件是8倍全場數碼成像相機，具有驅動程序控制的放大範圍（從3X到40X）。它可以捕獲曲面和邊緣輪廓數據,以識別寬度小至0.5微米的曲面特征。相機還支持彩色成像,以便於特征識別。此外，機器還通過自動檢測晶圓基板上表面特征的存在來支持過程監控。該工具采用了一種正在申請專利的紫外線成像技術,通過提高晶圓通量,同時將光能需求降低10-15倍,提高缺陷表征和成像分辨率。UV成像資產提供有關分析可能影響半導體器件性能的最小缺陷的信息。該模型還使用戶能夠執行各種計量測量,包括表面和圖樣均勻性的地形測量、故障分析的電阻測量、基板均勻性測量和凹槽深度（用於了解設計問題）。該設備還包括一套用於分析、演示和歸檔數據的高級軟件包。高級軟件設計用於數字圖像處理、3-D曲面映射、缺陷審查、數據比較和檢查自動化。直觀的圖形用戶界面簡化了常規操作和數據可視化，使用戶能夠輕松分析和呈現數據。綜上所述，KLA UV 1050是一個高度先進的晶圓測試和計量系統，將強大的紫外線成像技術包裝成緊湊的設計。它提供超高分辨率的表面成像、增強的缺陷檢測和表征功能、用於過程監視的計量應用程序以及用於數據分析、演示和存儲的軟件包。對於需要強大可靠的工具以確保質量性能的半導體制造商來說,此設備非常理想。