二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9115152 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080「晶圓測試計量」設備是一種高精度、高速的精密工程，將光學層測量、3D表面輪廓成像、集成散射法和全反射X射線熒光（TXRF）等先進技術結合成流線型封裝。集成光學層測量平臺利用先進的成像技術，精確測量半導體堆棧和晶片的層厚、組成、折射率和表面紋理。結合3D曲面輪廓成像和集成散射測量技術，使KLA UV 1080系統能夠測量光學測量的半導體堆棧表面粗糙度、形狀和紋理等參數。TXRF技術測量晶圓和堆棧中的元素，完整的測量結果包括元素組成和元素量。這允許與所需的規範進行比較。TENCOR UV-1080單元的優點在於，與其他方法相比，它能夠檢測和區分很小的層厚度和表面紋理變化，如光散射。這些技術在PROMETRIX UV-1080機器中的結合導致了與表面分析相關的綜合速度和精度。這允許實時反饋，同時開發極其精確的半導體堆棧。集成散射測量軟件結合了AI功能，以產生一系列光譜，以最佳地讀出所測量的信息。該工具具有高分辨率攝像機和自動樣品處理資產，可以在近場和遠場進行測量。結合光學層測量,KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080模型適用於廣泛的應用,如晶圓工藝開發和表征、線寬測量、均勻性表征、切割/蝕刻深度測量和缺陷檢查。KLA UV-1080設備是用於半導體堆棧和晶圓應用的高質量測量的可靠而強大的工具。結合尖端技術、精度和速度，在晶圓和堆棧開發過程中實現了高效、準確的表面分析。