二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9217742 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體器件制造後的檢驗和分析。它利用先進的成像技術和高功率算法,對各種晶圓尺寸、形狀和材料中的缺陷進行映射、測量和分類,直至達到納米級。該系統采用高功率100瓦UV激光成像頭來捕捉基板表面的精確3 D圖像。利用光譜成像，該裝置可以檢測SU-8等光學透明材料內的深色和淺色缺陷。1080采用先進的機動化級設計,用於精確的芯片內模具測量和放大到1000X的缺陷識別。這臺機器提供了直觀的圖像捕獲控件來捕獲高分辨率圖像,從而實現並排比較。1080還提供了與標準格式CAD庫和設備模型的無縫集成,以確保精確的直方圖數據和納米精度的缺陷位置映射。此外,刀具還可以測量各種參數,包括曲面粗糙度、缺陷區域和深度。此外,資產還提供了一整套工具,用於審查、分析和解決缺陷。設計了KLA 1080模型，用於設備制造和測試各階段缺陷的快速準確量化。它提供了缺陷解決功能,以驗證過程的可重復性並降低與制造過程的可變性和材料相關的風險。TENCOR 1080是評估和排除產量和產量損失問題以及實施SPC過程的理想選擇。它擁有快速、準確的缺陷成像、檢測和量化功能,以及用於數據分析、報告和演示的強大工具。此外,該設備還具有用於高速掃描的自動晶片對齊功能、用於提高吞吐量的可選晶片處理程序以及改進的模模均勻性。