二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9268146 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一種晶圓測試和計量設備，利用紫外線（UV）輻射測量晶圓或半導體芯片的各種參數。它利用了兩個先進的光學系統-UV四電池和UV雙電池。四單元系統由四個檢測器組成，每個檢測器分別測量樣品的不同特性，包括地形、CD值、斜率和銳度。第二個紫外線雙細胞單元由兩個檢測器組成，測量樣品的位置位移（X-Y）。該機的紫外線輻射具有快速的波長切換時間和高精度數據，可用於精確測量。這使用戶能夠檢測晶圓表面的各種缺陷,如針孔、小丘和劃痕。它也是精確定位臨界尺寸（Cd）變化和執行薄膜拓撲分析的理想選擇。此外,用戶還可以分析材料組成、應力、平整度、覆蓋和碳汙染。KLA UV 1080具有較大的角度範圍,便於掃描,並且可以以高達每小時150個晶圓的速度測量不同復雜程度的多個目標。該工具還具有內置晶圓處理能力，使手動操作最小化，只需要定期維護即可可靠運行。此外,還可以定制資產以適應特殊的測量要求,例如,可以包括更多組件（如Autoloader）以提高操作便利性。充分利用模型的潛力，可以與工業自動化和控制系統集成，使其成為生產和研究應用的絕佳工具。其數據采集能力和數據分析功能通過KLA Worksite NT軟件啟用。這個功能齊全的軟件包含直觀、可自定義的接口,旨在支持多個晶片加載和掃描操作。該設備還符合SMEMA（表面安裝設備制造商協會）協議和ELPHY+控制協議標準。總體而言，TENCOR UV-1080是一種高效、準確、可靠的晶圓測試和計量系統，可提供快速、可靠的結果，是半導體行業的一項重大投資。