二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9269382 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
已售出
ID: 9269382
優質的: 1999
Thin film measurement system 1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是為高性能、精確的應用而設計的下一代晶圓測試和計量設備。該系統能夠同時捕獲多達1080張圖像,以便快速檢測缺陷和精確測量晶片上的特征。該裝置具有極紫外線(EUV)源,在深亞微米特征尺寸上成像時提供卓越的分辨率。10倍變焦光學器件和5軸表格提供了一系列的磁場大小和分辨率級別,從而實現了快速、準確的數據采集。該機利用先進的圖像處理算法,準確識別和表征缺陷。此工具能夠自動進行缺陷分析,提供檢測到的任何缺陷的詳細分析和報告。資產具有將缺陷與過程歷史關聯的能力,從而能夠及時完成根本原因調查。此外,該模型還可用於非常高精度地評估基板和IC。這些設備還提供先進的數據采集能力,能夠捕獲完整的晶圓測量數據。這包括測量關鍵參數(如CD、叠加、臨界尺寸、標線或網絡更改)的能力。該系統也是高度模塊化的,允許在光學性能、圖像分析和數據收集領域增加靈活性和定制。KLA UV 1080設計用於低顆粒和缺陷計數,確保晶片不受汙染,任何異常都很容易辨認。其他功能(如周期時間短和由於自動修復刀具而使停機時間最小)有助於減少處理時間和成本。由於該設備提供遠程診斷和用戶友好界面,維護負擔也得到了減輕。綜上所述,TENCOR UV-1080是一種先進的晶圓測試和計量機器,旨在提供卓越的性能。其靈活的設計和特性陣列有助於為晶圓檢測和測量應用提供完整的解決方案。它簡化的設計減少了停機和處理成本,同時保證了卓越的準確性和可重復性。
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