二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9275986 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080是一種晶圓測試和計量設備，利用先進的光學、成像技術和軟件來提供晶圓表面地形的精確模型。它旨在獲取晶片表面形態的高度精確的3D圖,使工程師能夠測量各種屬性,例如存在缺陷和顆粒,以及薄膜層的厚度和均勻性。KLA UV 1080使用一種特殊顯微鏡透鏡，該透鏡結合了可選的冷凝器光圈、可調節的顯微鏡物鏡和高分辨率相機，以同時捕獲橫跨晶圓表面的多個點。該系統的輸出是一個獨特的實時圖像，然後將其轉換為數字地圖。然後將這些數據輸入到專用軟件中，該軟件使用算法分析數據並生成晶圓條件的綜合報告。除光學成像外，TENCOR UV-1080還利用各種專門的計量技術，如掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線衍射（XRD）和其他定制技術來測量薄膜層的厚度和存在的任何缺陷或汙染物。該單元還具有較寬的測量範圍，允許檢測小至1納米的粒子，並使用3維溶液測量高達4微米。為了全面概述晶片的表面結構和狀況,設計UV-1080可優化各種晶片的精度、可重復性和靈活性。該機包括一套全面的用戶友好軟件和控制選項，允許用戶調整和定制測量參數。作為數據收集過程的一部分，該工具還自動存儲以前的測試結果，以便對過去和新的測量結果進行比較和審查。PROMETRIX UV 1080的設計旨在為工業材料表征和缺陷檢測提供卓越的細節水平、準確性和可靠性。通過將先進的光學技術、全面的軟件和專門的計量技術相結合，這一資產是對基板表面進行高效可靠評估的寶貴工具。