二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250 #9312897 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250晶圓測試和計量設備是檢查單個晶圓上集成電路的強大工具。它能夠對每個晶片上的多達1250個單獨位置進行采樣，從而能夠對廣泛的參數進行高度定制和準確的分析。該系統的關鍵部件是紫外線光源,它采用激光誘導熒光耦合（LFF）和自動熒光耦合（AFM）技術。具體來說，該單元使用紫外線光譜的光子來激發和檢查晶圓表面的特征和特征。通過LFF，機器能夠確定表面薄絕緣層的厚度。然後，這些信息用於確定是否存在潛在缺陷，即所謂的「無缺陷」區域。該工具還提供了出色的用戶可調對流層光學選項。這些設置用於幫助減少表面反射，優化晶片上的圖像對比度，更好地量化晶片上的特征。同時,自動光學設置允許快速優化照明角度和工作距離,因此只需對光學元件進行最小的調整即可在晶圓的整個表面上獲得最佳性能。除了光學元件外，資產還利用自動級、電動晶片卡盤和運動控制器。這種硬件組合確保晶片始終處於最佳位置以進行測量，因為整個晶片在顯微鏡掃描時保持靜止。此外,晶片卡盤經過特殊設計,可確保掃描過程中不會發生振動或未對準。最後，該模型包括光譜成像軟件，能夠進行一系列的圖像分析。這包括2D圖像縫合、子像素配準和基於圖像的缺陷分類。這樣的分析允許精確分析到微米級，允許對晶圓性能進行高度精確的分析。總之，KLA UV 1250晶片測試和計量設備是晶片測試不可或缺的工具，提供無與倫比的精度和分辨率。該系統結合了激光、光學元件、自動級和專用軟件，可以對單個晶圓上的集成電路進行高度詳細的分析。