二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293603827 待售

ID: 293603827
優質的: 2003
Darkfield inspection system 2003 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000是一款最先進的晶圓測試和計量設備,旨在增強半導體器件的生產和開發過程。它提供了一種全面、高度準確和經濟高效的方法來測量和表征晶片在其整個表面上。KLA Puma 9000配備了自動晶圓處理系統,以提高精度和分析速度。該裝置包括一臺先進的照相機和掃描機,顯示出更好的檢測缺陷和特征的靈敏度。這些先進的功能使研究人員能夠檢測和分析最微妙的細節。頻譜庫允許識別和分類信號剖面。這改進了自動化測試操作,並允許進行更復雜的特性分析。此外,還有一個功能強大的軟件包,可幫助開發和分析測試計劃。這使用戶能夠映射出一整個測試序列,以最大化從每個晶圓導出的信息。TENCOR Puma 9000還具有高功率LDI(激光直接成像)工具,用於測量正面和背面的照片清晰度圖層。這是伴隨著一個計量室膨脹裝載機,它可以用來測量任何大小的樣品,無論是從正面還是從背面。此外,資產還附帶一個增強型圖像分析工具,用於分析給定晶圓輪廓上的特征測試。模型還具有「增強臨界尺寸測量」(Enhanced Critical Dimension Measurement),用於檢查晶圓上給定特征的幾何屬性。最後,Puma 9000配備了Fast Scanning WaferMap,這是一種極為敏感的工具,可以檢測單個晶片的橫向運動。這使得研究人員能夠研究隨著時間的推移對晶片的局部應變和熱效應。綜上所述,KLA/TENCOR Puma 9000為晶圓測試和計量提供了一個非常全面的解決方案。從改進的圖像檢測到各種先進的軟件工具,KLA Puma 9000是提高精度和速度的完美解決方案。
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