二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293606939 待售

KLA/TENCOR Puma 9000是一種用於晶圓測試和計量的高精度自動化設備。它專為大批量生產而設計，能夠通過先進的光學和檢測算法進行地下計量和缺陷檢測。該系統的主要組成部分是激光光學傳感器，它可以提供微觀分析晶圓的特性，如微觀結構和納米結構。該裝置能夠達到高分辨率，產生精確到幾納米以內的測量值。通過使用專門的梁定位機，該工具還可以繪制和分析三維特征。該資產配備了一套工具和軟件，能夠對晶圓特性進行高級分析。一組模式識別算法可用於識別單個晶圓內的缺陷。該模型也是可擴展的，使用戶能夠進一步定制他們的測試和測量。KLA Puma 9000除了具有缺陷檢測能力外，還能夠對表面拓撲和其他特性進行精確測量，用於過程控制和產量管理目的。這可以包括晶圓電阻率和均勻度的測量。TENCOR Puma 9000完全自動化,能夠實現高吞吐量和周期時間。它包括全面的數據記錄保存、與現有系統的集成、測試結果的完整可追蹤性、流程配方和硬件配置。該設備還具有很高的可靠性，通過了無故障性能記錄的現場測試。總體而言，Puma 9000是一種先進的用於自動晶圓測試和計量的計量系統。它提供高分辨率和準確性,以及一系列功能和優化,以實現高級精確檢查和測量。憑借其自動化和可追蹤性功能,它為生產環境提供了理想的解決方案。