二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038 待售
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KLA/TENCOR Puma 9000是KLA開發的自動化晶圓測試和計量設備。該系統旨在通過實施先進水平的測量和分析技術，提供全面的半導體工程解決方案。該裝置能夠提供實時分析和檢查，以及過程控制，以確保最佳的晶圓產量和最佳的制造條件。該機采用高分辨率成像技術進行晶圓檢測和計量，並采用先進的模式識別軟件進行缺陷檢測。這樣可以完全控制過程,從最初的模條對齊到最終產品的光學性能評估。它還為生產用於提高產量的數據提供了一種有效的手段。KLA Puma 9000提供一流的速度和準確性,並具有優化的運行時間和吞吐量。這個工具能夠每小時檢查多達25個晶片，分辨率降至1微米。它配備了高通量、非接觸級,能夠在一次掃描中自動測量和分析晶圓上的多個位置。資產的成像能力可以捕獲0.3微米左右的晶圓特征。TENCOR Puma 9000與主機過程控制系統集成在一起,能夠在模塊、工具和模型級別進行數據收集和分析。這允許即時優化流程,使供應商能夠提高吞吐量,並對流程變更做出快速反應。此外,該設備還與一系列配方兼容,確保傳輸適合用途的缺陷檢測和過程控制算法。總體而言,Puma 9000是一種高性能、集成的晶圓測試和計量解決方案。它允許將晶片的自動檢查和計量與基於配方的過程控制結合起來。該系統改進了對流程和產量的控制，允許快速和可靠的計量和缺陷識別，從而提高了結果的準確性和可重復性。
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