二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #81748 待售
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已售出
ID: 81748
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Darkfield Defect Inspection Tool, 12"
Main Computer: DELL Power Edge 2600, 2x Intel Xeon CPU 2,8 GHz, 2GB RAM, Bus Speed 533
MHz, L2 cache: 512 kB
Image PC: Mercury, SN: Z2111
(Qty 2) 12" loadports Asyst 300FL, S3 STD, KT07
Wafer ID reader "Cognex 1701"
Main Power Input: 208V, 3ph,
12" robot with one endeffector (fork)
Subequipment: Blower (KLA-Tencor)
Disk-Management: Array: PERC 4/Di
Disk 0: 546 GB
C: 20 GB, D: 50 GB, E: 426 GB, Z: 50 GB
Main Computer: Windows 2000 Server Family, 5.00.2195, SP4, BIOS Rev. A10
Application: Ver 9.1.703_2, 14. Q4 2007
Last Software upgrade from 9.1.424 to 9.1.703 on 15. Q1 2008
Cougar 9.1.703, 14.Nov 2007
Wafer Inspector V.9.1.703_2
CE Marked
2004 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000是一種先進的晶圓測試和計量設備。它將高速光學、X射線、晶圓廣播和缺陷審查功能結合在一個獨特的、經過生產驗證的平臺中。KLA Puma 9000在每種計量應用中都提供了最佳的性能和價值,從快速、非接觸式的臨界尺寸結構檢查到對過程敏感模式的缺陷審查。TENCOR Puma 9000旨在為晶圓制造商提供分辨率最高的圖像、更快的吞吐量和性能,以快速檢測細微的缺陷。Puma 9000為用戶提供了檢查最困難的高級節點設計規則所需的高級工具。該系統的5-QX X射線探測器使用多達八個激光器進行高精度CD測量，具有業界最快的全晶圓廣播速度。它還具有用於無與倫比的X射線和CDS測量的雙波長配置。KLA/TENCOR Puma 9000提供業界分辨率最高的數字成像單元,像素大小小至三微米。機器先進的圖像處理算法使它能夠以最高的精度檢測和分析極小的特征。它的自動缺陷審查功能消除了手動查看的需要,並簡化了快速識別缺陷的過程。KLA Puma 9000具有增強的線路匹配算法和先進的線路定位/跟蹤功能,可確保最高的計量精度。TENCOR Puma 9000還提供最新的自動化和連接性,允許用戶通過自動化腳本和數據收集工具來控制該工具。它包括可選的條形碼標簽閱讀器和自動晶圓處理系統,可進一步增強其性能和靈活性。此外,Puma 9000的以太網/IP和USB端口使與外部系統的接口變得容易。KLA/TENCOR Puma 9000提供了廣泛的功能,以滿足業界的各種需求。它靈活的設計和高級功能為客戶提供了計量和測試應用程序中的最高性能和最佳價值。
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