二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #9232234 待售

KLA/TENCOR Puma 9000是一個晶圓測試和計量平臺，旨在快速、準確、可靠地測量半導體器件結構、均勻性、地形等晶圓參數。該設備利用先進的掃描電子顯微鏡（SEM）成像、自動光學檢查（AOI）和激光幹涉測量（LI）工具，生成全面的數據集，詳細說明晶圓上各設備的性能。它非常適合同時測量多個特征，並且有可能減少分析晶片所需的時間，而不會影響精度或可靠性。KLA Puma 9000旨在適應多種條件，使其非常適合高溫或低溫環境，或存在塵埃和碎屑的環境。它能夠分析直徑最大為8英寸的晶片，具有極好的動態範圍，可用於高細節圖像和特征分析。平臺結合多種傳感器和集成電子設備，檢測喉深、俯仰、線寬、線角、缺陷型等結構特性。該系統利用先進算法對特征進行精確分類，提取包括總缺陷面積、缺陷密度、平均寬度、間距等諸多參數的數據，提供快速可靠的集成數據解決方案。此外，該單元還配備了卓越的自動化能力。它使用嵌入式粒子檢測機和平板檢測器以完全自動化的方式掃描晶片，可以配置為單獨檢查特定結構或協調大型數據捕獲和分析點集合，以滿足大規模分析需求。TENCOR Puma 9000包含用於樣品定位的軟件控制機械級,並提供高精度對準選項,以實現卓越的精度。最後,它包括自動屏蔽以確保可靠的數據收集,並且可以配備內置離子束源或光纖連接以集成到現有平臺中。Puma 9000是晶圓測試和計量任務的完美解決方案。該平臺將掃描電子顯微鏡、自動光學檢查和激光幹涉測量技術合二為一，提供前所未有的數據精度、可靠性和速度。它的自動化功能和軟件控制的機械階段允許對多個功能進行準確和可重復的測量,而無需操作員幹預。該工具旨在承受惡劣的環境條件，能夠掃描直徑達8英寸的晶片。綜上所述，KLA/TENCOR Puma 9000是領先的晶圓測試和計量解決方案。