二手 KLA / TENCOR Puma 9000 #9378722 待售

KLA/TENCOR Puma 9000晶圓測試計量設備是下一代晶圓測試計量系統，旨在為半導體器件制造商提供高精度、高通量的晶圓測試計量結果。與早期版本的Puma系列相比,KLA Puma 9000具有先進的掃描和測量功能,可顯著提高性能、準確性和吞吐量。TENCOR Puma 9000的主要部件包括其最先進的CCD視覺單元、全範圍區域陣列光阻計量機以及全自動規範掃描和計量分析工具。CCD視覺工具可以對晶片的頂部和底部表面進行全面的視場檢查,而區域陣列光阻測量學資產則可以對晶片上的薄膜厚度和表面輪廓進行高度精確的表征。自動規範掃描和計量分析工具集支持高效的數據收集、自動特征表征、數據處理、糾錯、統計分析和詳細報告。Puma 9000還包括一系列高級的用戶可配置軟件包,允許用戶根據特定的晶圓工藝要求自定義模型。這包括高級特征檢測和表征、全面糾錯功能、自動掃描和計量、嵌入式基於模型的缺陷檢測和修復以及統計數據分析和報告。KLA/TENCOR Puma 9000設計為在惡劣的環境中運行,具有完全自動化的工業級機箱,旨在防止灰塵和腐蝕。此外,KLA Puma 9000還利用了許多先進的電氣和光學保護功能,如可編程光濾鏡、針對不正確電源電壓的保護以及電湧保護,以確保即使在最具攻擊性的環境中也能實現高性能和準確性。總體而言，TENCOR Puma 9000是一款極其先進的晶圓測試和計量設備。Puma 9000憑借其先進的CCD視覺系統、區域陣列光阻計量器單元、自動化分析工具和定制軟件包，旨在提供最高水平的準確度、速度和可重復性，允許對半導體器件制造中使用的晶片進行快速、精確的測試和表征。