二手 KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157 待售
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已售出
ID: 9184157
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Inspection system, 12"
Tool with (2) modules
Light source:UV laser
Laser wavelength:365nm
(2) Dark field Sensor
Select Mode:sL10,sL15,sL20,sL40,sL60,sL70
Currently stored in cleanroom
2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D是一種晶圓測試和計量設備,提供無與倫比的精度和吞吐量能力,以確保最高質量的產量和產量。該系統將先進的晶圓檢測與自動計量相結合,以識別和測量晶圓上存在的任何缺陷。KLA Puma 9000D提供了無與倫比的準確性和速度來識別和測量當今高密度晶片上極小的缺陷。TENCOR PUMA 9000 D的自動計量器能夠準確快速地測量寬晶圓區域上的特征,從1 µm到5 µm的特征,速度高達2 µm/秒。它還測量晶片表面上的廣泛特征,包括CD、線性間距和線寬、臺階和突出高度。在成像方面,PUMA 9000 D提供高清成像功能,具有廣闊的視野,可幫助您深入了解每一個缺陷,並驗證測量精度。它具有可選的多視覺模式功能,每秒可提供480張圖像,用於大視野。其先進的圖像處理算法以前所未有的細節準確檢測和測量包括劃痕、粒子和位錯在內的晶圓缺陷。機器的高精度線性級也提供了一個參考精度水平。其高精度驅動技術提供微米級精度,允許極精確的測量。KLA PUMA 9000 D的空氣掃描模塊為當今最小的設備提供了全方位的檢查功能。此外,它的開放式體系結構和模塊化設計允許輕松、經濟高效地定制和升級工具。內置的自動對焦功能以及自動晶片加載和跟蹤功能可最大程度地減少操作員的技能要求,並允許將資產快速集成到生產線中。為確保獲得最高質量的結果,Puma 9000D提供了全面、直觀的操作員控制和報告功能。這包括一個自動缺陷報告模型,用於創建每個缺陷及其在晶圓模式中的位置的報告。它還為集成和簡化的過程控制提供了全局缺陷控制選項。TENCOR Puma 9000D提供前所未有的準確性和速度,這對於滿足當今的生產要求至關重要。KLA/TENCOR PUMA 9000 D具有先進的晶片測試和計量技術,為確保高產優質晶片提供了高效的解決方案。
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