二手 KLA / TENCOR Puma 9000D #9406885 待售
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ID: 9406885
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Darkfield inspection system, 12"
EFEM: Dual FIMS (EFEM) with Phoenix handler
GEM, SECS and HSMS
4-Color signal light tower: R,Y,G,B
VANGUARD UV Laser head, 1W
Laser wavelength: 365nm
Selectable Scan Line (SL): SL10/15/20/40/60
(2) ISOPORT Loadports
FEC
Interlock controller
ACDC Power
YASKAWA Controller
Stage:
X, Y and Theta stage installed stage locking jig
PS2 / X,Y1,Y2,ADSC Amp
SMAC and X-Flex board
2-FVPA (Rear FVPA missing)
PS1 and Z Amp missing
Optic
AF Camera
Line scan camera
CIB 1,2,3 Board
XTC Board
AF Unit
AFSB
Focus missing
CH2 Line scan camera missing
Laser power supply
Laser head
Galil board (3-Channels)
User interface:
IMC System (Mercury and host PC)
SCC (HDD Missing)
Monitor
Keyboard
Joystick
Blower box
Line conditioner
UI and IS Connected cable
Exhaust hose
2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D是一種晶圓測試和計量設備，提供高性能的光學和自動化檢查。該系統經過專門設計,可提供高精度和高精度測量,用於高級3D設備表征。它提供微米級分辨率和特殊的信噪比，使其越來越可靠的檢查在半導體行業。該單元的核心是其先進的光學計量能力。雙波長光譜儀使用廣泛的光源來測量器件參數，如厚度、光學性質、晶圓表面多個點的平坦度等。該光譜儀利用線掃描和多個衍射儀來檢測具有極高分辨率和精度的特征。此外，光譜儀還配備了一個自動化的路線計劃，使其能夠快速準確地創建任何晶圓的表面輪廓。KLA Puma 9000D還具有高級自動化檢查功能。高分辨率3D成像機利用折射和反射工具檢測晶圓表面的微小特征。3D成像工具用於測量各種設備參數,包括線寬、長寬比、孔深度和熱應力。此外,此資產還配備了自動缺陷審查分析儀,可以檢測和報告肉眼看不見的小表面缺陷。除了這些功能外，TENCOR PUMA 9000 D還包含了幾個高級軟件功能，旨在提高用戶效率。該模型包括一個復雜的缺陷特征映射程序，可以以多種格式呈現設備數據。軟件還可以訪問大量缺陷算法庫,這些算法允許精確和可重復的測量。這有助於減少檢查時間，提高準確性。彪馬9000D是一款極其先進的設備，旨在提供高性能的檢測服務。其先進的光學和自動檢查能力可以在微米水平上進行可靠和準確的測量。此外,這些軟件功能功能強大且用戶友好,便於分析和解釋數據。憑借其先進的功能，PUMA 9000 D非常適合半導體行業的廣泛應用。
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